[14p-P01-1~26] 6.3 Oxide electronics

[14p-P01-24] Photocatalytic properties of TiO₂/(Ti-Cu-O) thin films with Ti-Cu-O layers controlled by an O₂ gas flow rate

〇(B)Shunsuke Hashizume¹, Ichiro Takano¹ (1.Kogakuin Univ.)

Keywords:

photocatalyst,reactive sputtering,titanium dioxide

本研究では，Ti-Cu-O混合層を下層に配置したTiO₂薄膜におけるメカニズムを解明するため，下層作製時のO₂ガス流量による光触媒特性の変化を光エネルギーの吸収や反射などの面から調査した。その結果，O₂ガス流量を一定値まで増加させることで単体のTiO₂薄膜を超える光触媒特性が得られることを確認した。