[14p-P01-1~26] 6.3 Oxide electronics

[14p-P01-8] Fabrication and Characterization of MIM Diodes for Rectenna using Zinc Oxide

〇(B)Haruto Monda¹, Kensuke Nakata¹, Kaiko Yuge¹, Hideo Wada¹, Masatoshi koyama¹, Akihiko Fujii¹, Toshihiko Maemoto¹ (1.Osaka Inst. of Tech.)

Keywords:

ZnO,Rectenna,MIM Diodes

<!--StartFragment-->酸化物MIMダイオードは低温薄膜プロセスが可能でフレキシブル基板にも大面積実装しやすい。今回、ZnOとAlOxを積層しAu電極と組み合わせることで、高い整流性と非線形性を実現した。トンネル効果を利用することで、従来のpn接合やショットキー接合とは異なる高速応答が期待でき、高周波帯での利用にも可能性が広がる。バンドエンジニアリングによるさらなる特性向上も可能で、透明レクテナへの応用にも有望である。<!--EndFragment-->