[15p-P01-1~7] 3.4 Laser system and materials

[15p-P01-3] Construction and Evaluation of Crystal Environment for Improving

〇Shinsuke Shibata¹, Koji Yamasaki¹, Takayuki Yabu¹, Yusuke Mori², Masashi Yoshimura³ (1.Gigaphoton Inc, 2.Grad. Sch. of Eng., Osaka Univ, 3.ILE, Osaka Univ)

Keywords:

solid-state laser,CLBO

193nmを発生させる波長変換システムの非線形光学結晶としてCLBO結晶を使用している。193nm光の出力安定稼働のためには、CLBO結晶の耐久性改善が重要である。対策としてCLBO結晶を気密封止できるセルに保管、セル内面からの水分脱離を防止するため電解研磨による内面面粗度の改善、セル内の水分濃度管理などを実施し、耐久性改善がみられたので報告する。