[15p-P02-1~17] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[15p-P02-2] Numerical analysis of thickness measurement of sample on reflective substrate by double heterodyne interferometer

〇(B)Takamasa Yamato¹, Kotaro Kawai¹ (1.Kobe City College of Tech.)

Keywords:

optical measurement,heterodyne interference,thickness measurement

本研究では、我々が以前提案したダブルヘテロダイン干渉法を反射基板上単層膜の膜厚測定に拡張するための測定手法を提案する。反射基板上での膜厚測定では多重反射により包絡線の位相がずれ、膜厚測定ができない問題があった。この問題に対応するため、多重反射の影響を定量評価した上で、ブリュースター角で振幅変調波を入射させる手法について提案する。本発表では、手法の概要とともに生じうる誤差についても報告する。