[15p-P03-1~1] 3.13 Silicon photonics, Photonics-electronics convergence, Optical control

[15p-P03-1] Design and fabrication of an aperiodic grating emitter for wide angle radiation

〇Junichi Shibasaki¹, Masato Miura¹, Yuji Miyamoto¹, Masakazu Nanba¹, Kenichi Aoshima¹, Nobuhiko Funabashi¹, Kenji Machida¹, Yoshikuni Hirano¹ (1.NHK)

Keywords:

optical wave guide,Si-N,Emitter

我々は3次元表示応用を目指し、出射部に窒化珪素（Si-N）を適用した光フェーズドアレイ（Optical Phased Array: OPA）の研究を行っている。OPAより出射される光ビームの制御範囲は出射部を構成するエミッター単体からの出射光分布に制限される。そのため、エミッター単体からの出射光分布は広角で光強度が均一であることが望ましい。近年、出射部の高密度化によらず、OPAの光ビーム制御範囲を拡大する手法として非周期配列エミッターの研究が進められている。この手法ではエミッターを疎に配置できることから、エミッター単体に割り当て可能な面積が広くなり、設計の自由度が高くなる。そこで本報告では出射光分布が広角なエミッターを設計・試作した。