[16p-P09-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[16p-P09-5] Effect of water temperature on the amount of copper released in Cu-DLC

〇KENTARO TAKIZAWA¹, Takayoshi Nakajima², Atsushi Ohsawa¹, Kazuya Kanasugi¹, Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.Nanotec Co. Ltd.)

Keywords:

Diamond-like carbon,copper

Cu含有DLC（Cu-DLC）膜は、優れたトライボロジー特性と抗菌性を有し注目を集めている。Ｃu-DLC膜の抗菌効果は、湿式環境下で膜表面および膜中から銅イオンが徐放されることによると考えられるが、環境条件が徐放量に与える影響は十分に解明されていない。本研究では、Cu/C混合ターゲット型Arスパッタリング法で作製したCu-DLC膜の銅イオン徐放量が、湿式環境温度によってどのように変化するかを調査した。