[16p-P09-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[16p-P09-9] Hydrogen content influences DLC electrode oxygen reduction characteristics

〇(B)Hiromichi Moide¹, Yasuharu Ohgoe¹, Kenzi Hirakuri², Yoshiharu Mukouyama¹ (1.Denki Univ. Sci. & Eng. Elec., 2.Denki Univ. Eng. Elec. & Elec.)

Keywords:

DLC

本研究では、燃料電池用電極への応用を目指し、水素含有率を変化させたDLC膜を低周波プラズマCVD法で成膜し、ORR活性を評価した。結果、水素含有率がDLC膜の構造とORR活性に大きく影響し、特に中間的な水素含有（50 Pa成膜）が最も高い活性を示した。適切な水素終端構造の最適化がDLC膜のORR活性向上に重要であることが示唆された。