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10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10a-B31-7]Evaluation of Monocrystalline/Polycrystalline PZT Composite Thin Film Fabricated Using Patterned Polycrystalline LaNiO3 Seed Layer

〇KENTA TSUKAMOTO¹, Akihiko Teshigahara¹, Shinya Yoshida¹ (1.Shibaura Inst. Tec.)

Piezoelectric thin film

PZT単結晶薄膜の低靭性を克服するため、LaNiO3シード層を用いた単結晶・多結晶コンポジット薄膜を提案した。繊維状配向多結晶部の形成により、従来手法に比べ低誘電率を維持しつつ圧電定数が約30%向上した。また単結晶より高い靭性も実証され、高性能な圧電MEMSデバイス用PZT薄膜の実現が期待される。