講演情報
[10a-B31-7]パターンド多結晶LaNiO3シード層を用いて作製した単結晶・多結晶PZTコンポジット薄膜の評価
〇塚本 健太1、勅使河原 明彦1、吉田 慎哉1 (1.芝浦工大)
キーワード：
圧電薄膜
PZT単結晶薄膜の低靭性を克服するため、LaNiO3シード層を用いた単結晶・多結晶コンポジット薄膜を提案した。繊維状配向多結晶部の形成により、従来手法に比べ低誘電率を維持しつつ圧電定数が約30%向上した。また単結晶より高い靭性も実証され、高性能な圧電MEMSデバイス用PZT薄膜の実現が期待される。