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[10a-E101-8]Development of Thermal Crosstalk Prediction for High-Density GaN-based VCSEL Arrays

〇Naoki Shibahara1, Atsunori Tokushi1, Taiki Kitamura1, Haruki Soma1, Satoshi Kamiyama1, Motoaki Iwaya1, Tetsuya Takeuchi1 (1.Meijo Univ.)

Keywords:

VCSEL,Two-dimensional array,Thermal crosstalk

発光径5 μmの高効率GaN系VCSELを用いた小型高出力アレイ実現に向け、2 cm角・数10 μmピッチの大規模アレイにおける熱クロストークを理論検討した。実デバイスに基づく有限要素モデルからGaNおよびAlInNの熱伝導率を同定し、距離依存性解析と小規模アレイ解析を組み合わせて大規模アレイへ拡張した。その結果、従来の有限要素解析のみでは困難であった領域を含む温度分布の推定が可能となった。