講演情報
[10a-E101-8]高密度GaN系面発光レーザアレイにおける熱クロストーク予測手法の構築
〇柴原 直暉1、禿子 温教1、北村 太希1、相馬 晴輝1、上山 智1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1 (1.名城大理工)
キーワード：
面発光レーザ、二次元アレイ、熱クロストーク
発光径5 μmの高効率GaN系VCSELを用いた小型高出力アレイ実現に向け、2 cm角・数10 μmピッチの大規模アレイにおける熱クロストークを理論検討した。実デバイスに基づく有限要素モデルからGaNおよびAlInNの熱伝導率を同定し、距離依存性解析と小規模アレイ解析を組み合わせて大規模アレイへ拡張した。その結果、従来の有限要素解析のみでは困難であった領域を含む温度分布の推定が可能となった。