Presentation Information
[10a-E218-7][The 60th Young Scientist Presentation Award Speech] The scale effect of Si surface fine structure on heat transfer characteristics between water and Si
〇Jun Onoe1, Kantaro Kobayashi1, Rikuto Enoki1, Hiroaki Kakiuchi1, Hiromasa Ohmi1 (1.The Univ. of Osaka)
Keywords:
Si,semiconductor,nano-structure
デバイスの高集積化に伴い排熱・放熱処理技術が、ますます重要となっている。我々は、Siチップの効率的な直接冷却手法として、高い伝熱特性をもつ沸騰伝熱に着目しており、これまでナノ構造が付与されたSi表面では水/Si間の伝熱特性が向上することを報告してきた。今回は、Si表面上に形成した微細構造の形態やスケールが水沸騰伝熱に与える影響を調査した。その結果、水/Si間の伝熱にはナノ構造が有利なことが分かった。