講演情報
[10a-E218-7][第60回講演奨励賞受賞記念講演] Si表面微細構造のスケールが水/Si間の伝熱に及ぼす影響
〇尾上 潤1、小林 幹太朗1、榎木 陸人1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)
キーワード：
シリコン、半導体、ナノ構造
デバイスの高集積化に伴い排熱・放熱処理技術が、ますます重要となっている。我々は、Siチップの効率的な直接冷却手法として、高い伝熱特性をもつ沸騰伝熱に着目しており、これまでナノ構造が付与されたSi表面では水/Si間の伝熱特性が向上することを報告してきた。今回は、Si表面上に形成した微細構造の形態やスケールが水沸騰伝熱に与える影響を調査した。その結果、水/Si間の伝熱にはナノ構造が有利なことが分かった。