[10a-E311-1~10] 7.2 Applications and technologies of electron beams

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)

[10a-E311-8] Improving the temporal resolution of a scanning ultrafast electron microscopy using high repetition laser

〇(M2)Kensuke Miura¹, Ryohei Tsuchiya¹, Shoji Yoshida¹, Jun-ichi Fujita¹, Yusuke Arashida¹ (1.Univ. Tsukuba)

Keywords:

Scanning Electron Microscopy,Space Charge Effect,Temporal resolution

走査電子顕微鏡（SEM）とフェムト秒レーザーを融合した超高速時間分解SEMにおいて、高繰り返しレーザーの導入により電子パルス内の空間電荷効果を低減した。これにより、動作中の高周波電子デバイスの表面電位変化を直接評価する際の時間分解能が、従来の43 psから3.7 psへと大幅に向上した。本手法は0.3 THz帯で動作する超高速デバイスの電位変化を時間領域で直接観察可能とし、今後のデバイス設計への貢献が期待される。