講演情報
[10a-E311-8]高繰り返しレーザーによる超高速時間分解SEMの時間分解能改善
〇(M2)三浦 研介1、土屋 遼平1、吉田 昭二1、藤田 淳一1、嵐田 雄介1 (1.筑波大数理)
キーワード：
走査型電子顕微鏡、空間電荷効果、時間分解能
走査電子顕微鏡（SEM）とフェムト秒レーザーを融合した超高速時間分解SEMにおいて、高繰り返しレーザーの導入により電子パルス内の空間電荷効果を低減した。これにより、動作中の高周波電子デバイスの表面電位変化を直接評価する際の時間分解能が、従来の43 psから3.7 psへと大幅に向上した。本手法は0.3 THz帯で動作する超高速デバイスの電位変化を時間領域で直接観察可能とし、今後のデバイス設計への貢献が期待される。