[10a-F212-1~6] 6.2 Carbon-based thin films

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[10a-F212-6] Local surface electronic and chemical-state changes at dislocations in diamond substrates by Nano-ESCA

〇Daisuke Sano¹, Takuya Moriki¹, Kentaro Ema¹, Sota Ono², Hirokazu Fukidome² (1.Honda R&D Co., Ltd., 2.RIEC, Tohoku University)

Keywords:

Diamond,XPS,Dislocation

ダイヤモンド基板中の転位が局所表面電子・化学状態に与える影響を、X線トポグラフィとNano-ESCAを用いて評価した。C1s強度分布には空間的不均一が見られ、転位近傍で周囲と異なる状態を確認。転位が表面状態の局所変化に関与し、デバイス特性ばらつきの要因となる可能性を示した。本手法の有効性も示唆された。