講演情報
[10a-F212-6]ダイヤモンド基板中の転位に伴う局所表面電子・化学状態変化のナノ光電子分光
〇佐野 大輔1、盛喜 琢也1、江間 研太郎1、小野 颯太2、吹留 博一2 (1.本田技術研究所、2.東北大学電気通信研究所)
キーワード：
ダイヤモンド、XPS、転位
ダイヤモンド基板中の転位が局所表面電子・化学状態に与える影響を、X線トポグラフィとNano-ESCAを用いて評価した。C1s強度分布には空間的不均一が見られ、転位近傍で周囲と異なる状態を確認。転位が表面状態の局所変化に関与し、デバイス特性ばらつきの要因となる可能性を示した。本手法の有効性も示唆された。