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[10a-S2-10]Fabrication of p-type transistor devices of metastable van der Waals semiconductor material GeTe2 and investigation of electrode metals
〇(D)Yu Kato1, Mihyeon Kim1, Yuta Saito1,2 (1.Tohoku Univ., 2.GXT, Tohoku Univ.)
Keywords:
vdW materials,semiconductor,transistor
従来のSiテクノロジーが微細化限界を迎えることが予想されている中で,層状材料を半導体デバイスに応用することが検討されている。近年、薄膜でのみ存在し得る準安定材料のGeTe2が層状構造を有することが報告された。そこで、本研究ではGeTe2をチャネルとしたトランジスタデバイスを作製し,その特性を評価すると共に電極金属の特性への影響を調査した.
