Presentation Information
[10p-A23-4]Fabrication of quantum discs by growth interruption during stacked submonolayer growth
〇Haruto Okuizumi1, Noel von Wattenwyl2, Rhenish Simon1, Ronel Roca1, Itaru Kamiya1 (1.Toyota Tech. Inst., 2.ETH)
Keywords:
quantum structure,photoluminescence,atomic force microscope
InAsとGaAsを交互積層するサブモノレイヤー（SML）積層法は、通常は堆積膜厚と速度で成長制御を行う。本研究では、この切り替え時に成長中断（GI）を導入し成長機構を検討した。30秒のGIを導入した試料の蛍光スペクトルには882nmの長波長なピークが見られた。この結果より、GI導入によって局所的にIn組成分布の高い場所ができ、量子ディスクが形成されたことが示唆された。