[10p-PA2-1~38] 6.4 Thin films and New materials

[10p-PA2-2] Relationship between growth conditions and contact resistance of SnO2 thin films applied for fuel cell separators.

〇(B)Jion Terashima¹, Takahashi Isao^2,3, Tanaka Takashi⁴, Matsuo Kouichi⁵, Kentaro Kaneko^2,3 (1.Col. of Sci. & Eng. Ritsumeikan Univ., 2.ROST, Ritsumeikan Univ., 3.RISA, 4.Eyetec Co., Ltd, 5.Iwasaki electric Co., Ltd)

Keywords:

fuel cell,separator,Tin Oxide

当グループは燃料電池の低コスト化を目的としてSUS 製セパレータへの SnO₂成膜を研究している。現状、SnO2膜は腐食耐性が十分であり、シート抵抗値も 10Ω/□以下であるが、SnO2/SUS構造での接触抵抗値が未だ高い。そこで本研究では、SnO₂膜の製膜手法であるミストCVD法における各種の製膜条件が、SnO₂/SUS試料の電気特性に与える影響を評価した。