[10p-PA2-1~38] 6.4 薄膜新材料

[10p-PA2-2] 燃料電池セパレータ用SnO₂薄膜の製膜条件と接触抵抗との関係

〇(B)寺島 慈恩¹、高橋 勲^2,3、田中 孝⁴、松尾 浩一⁵、金子 健太郎^2,3 (1.立命館大理工、2.立命館大総研、3.立命館大半導体応用研究センター、4.アイテック(株)、5.岩崎電気(株))

キーワード：

燃料電池、セパレータ、酸化スズ

当グループは燃料電池の低コスト化を目的としてSUS 製セパレータへの SnO₂成膜を研究している。現状、SnO2膜は腐食耐性が十分であり、シート抵抗値も 10Ω/□以下であるが、SnO2/SUS構造での接触抵抗値が未だ高い。そこで本研究では、SnO₂膜の製膜手法であるミストCVD法における各種の製膜条件が、SnO₂/SUS試料の電気特性に与える影響を評価した。