Presentation Information
[10p-PA2-20]Growth of crystalline VO2 films on TiO2 - buffered glass substrates and their optical switching performance for IR light.
〇(M2)RYOHEI WAKAYAMA1, Taiyo Hirono1, Kunio Okimura1, Md. Suruz Miya1, Tomohiko Nakajima2, Iwao Yamaguchi2 (1.Tokai Univ, 2.AIST)
Keywords:
Vanadium dioxide,Titanium dioxide,Smart window
本研究では，高温安定性に優れるTiO2をVO2薄膜のバッファー層として用い，赤外透過率スイッチング特性とスマートウィンドウ性能を評価した。TiO2上にVO2を90–120 nm成膜し，さらにTiO2/SiO2反射防止膜を堆積した。1.45 µm赤外透過率測定では，VO2膜厚120 nmで高温時の透過率が約17%まで低下し，ΔTsolは24.6%と最も高い値を示した。一方，膜厚を薄くするとTlumは36%以上に向上した。