講演情報
[10p-PA2-20]TiO2をバッファー層とするガラス基板上VO₂薄膜の作製と赤外光スイッチング特性に関する研究
〇(M2)若山 遼平1、廣野 太陽1、沖村 邦雄1、モハメッド・シュルズ ミヤ1、中島 智彦2、山口 巌2 (1.東海大院工、2.産総技術総合研究所)
キーワード：
二酸化バナジウム、二酸化チタン、スマートウィンドウ
本研究では，高温安定性に優れるTiO2をVO2薄膜のバッファー層として用い，赤外透過率スイッチング特性とスマートウィンドウ性能を評価した。TiO2上にVO2を90–120 nm成膜し，さらにTiO2/SiO2反射防止膜を堆積した。1.45 µm赤外透過率測定では，VO2膜厚120 nmで高温時の透過率が約17%まで低下し，ΔTsolは24.6%と最も高い値を示した。一方，膜厚を薄くするとTlumは36%以上に向上した。