[10p-PA2-1~38] 6.4 Thin films and New materials

[10p-PA2-5] Improvement of thermal stability of Ge₂Sb₂Te₅ phase-change material by O doping

〇(D)Shota Yoshimoto¹, Xin Dong¹, Syuhei Fukuda¹, Shuo Li¹, You Yin¹ (1.Gunma Univ.)

Keywords:

phase-change material

本研究では、Ge₂Sb₂Te₅ の熱安定性向上および抵抗値の多値化特性の改善を目的として、酸素
(O)をドープしたGe₂Sb₂Te₅ 相変化材料を作製し、その構造的・電気的特性を系統的に評価した。