[10p-PA2-1~38] 6.4 薄膜新材料

[10p-PA2-5] O ドープによる Ge₂Sb₂Te₅相変化材料の性能向上

〇(D)吉本 匠汰¹、董 鑫¹、福田 周平¹、李 碩¹、尹 友¹ (1.群馬大理工)

キーワード：

相変化材料

本研究では、Ge₂Sb₂Te₅ の熱安定性向上および抵抗値の多値化特性の改善を目的として、酸素
(O)をドープしたGe₂Sb₂Te₅ 相変化材料を作製し、その構造的・電気的特性を系統的に評価した。