Presentation Information

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)

[10p-S1-4]Compact modeling of cell-to-cell interference in horizontal channel flash memories

〇Toshiya Ishikawa¹, Shoto Nodo¹, Nayuta Kariya¹, Shinya Naito¹, Takashi Kurusu¹ (1.KIOXIA Corp.)

Keywords:

Compact modeling,cell-to-cell interference,horizontal channel flash memories

高積層化に伴うセル電流低下の対策構造としてHorizontal channel flash（HCF）を開発している．HCFはFG型セルで，セル間干渉が大きいことが課題である．本報告では，この効果を素早く見積もれる容量行列を用いた定式化結果と，TCADによる計算結果を比較した．セル間干渉は積層チャネルの容量結合が支配的であることがわかった．本結果をHCFにおけるセル間干渉の対策検討効率化に活用する．

Back to Session information