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3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10p-S1-7]Single-crystalline growth of Ru(10-10) thin films on Al₂O₃(11-20) substrates via getter-assisted vacuum improvement

〇Kosuke Imamura¹, Haruki Tomioka¹, Satoshi Tsuneizumi¹, Naoki Isogai¹, Tomoya Nakatani², Mitsuru Ohtake¹ (1.Yokohama Nat. Univ., 2.NIMS)

ruthenium,epitaxial growth,vaccum atmosphere

微細配線材料および機能性薄膜下地材料として有望なRu薄膜を，c軸が膜面内に配向した柱面で単結晶成長させることを目的とし，Al₂O₃(11-20)基板上に形成した．製膜前にゲッター処理を施して真空雰囲気を改善することにより，Ru(10-10)膜がほぼ単結晶として成長できることを明らかにした．