講演情報

15:15 〜 15:30奨励賞エントリー

[10p-S1-7]ゲッター効果による真空雰囲気改善によるAl₂O₃(11-20)基板上におけるRu(10-10)薄膜の単結晶成長

〇今村光佑¹、冨岡治樹¹、常泉聡史¹、磯貝直希¹、中谷友也²、大竹充¹ (1.横浜国大、2.NIMS)

ルテニウム、エピタキシャル成長、真空雰囲気

微細配線材料および機能性薄膜下地材料として有望なRu薄膜を，c軸が膜面内に配向した柱面で単結晶成長させることを目的とし，Al₂O₃(11-20)基板上に形成した．製膜前にゲッター処理を施して真空雰囲気を改善することにより，Ru(10-10)膜がほぼ単結晶として成長できることを明らかにした．