[11a-A31-1~13] 6.2 Carbon-based thin films

12:15 PM - 12:30 PM JST(3:15 AM - 3:30 AM UTC)

[11a-A31-13] Effects of Substrate Bias Voltage on the Properties of Diamond-Like Carbon Films Doped with Silicon and Nitrogen

〇Rinntaro Takemura¹, Ayame Hosokawa¹, Shota Ito¹, Yushi Suzuki¹, Yoshiharu Enta¹, Yasuyuki Kobayashi¹, Hideki Nakazawa¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:

Diamond Like Carbon,Substrate Bias Voltage Effects

RFプラズマ化学気相成長によりSi及びN添加DLC(Si-N-DLC)膜を作製し、基板バイアス電圧がSi-N-DLC膜特性に及ぼす効果について調べた。Si-N-DLC/p-Siヘテロ接合の暗状態のI-V特性において、基板バイアス電圧の増加によって順方向電流が増加し、逆方向電流が減少した結果、整流比が向上した。光照射下のI-V特性を測定した結果、基板バイアス電圧の増加によって短絡電流密度が増加した。