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[11a-N101-2]Effects of Device Geometry on Current Leakage in GaN-Based Quantum Shell Devices
〇Koki Yamada1, Hiroki Teshima1, Takuya Takahashi1, Haruki Sawazaki1, Haruki Hotta1, Himari Suzuki1, Koichi Naniwae2, Kazumasa Niwa2, Jyunya Iihama3, Yoshiro Kususe3, Masami Mesuda3, Tetsuya Takeuchi1, Motoaki Iwaya1, Satoshi Kamiyama1 (1.Meijo Univ., 2.E&E Evolution CO.LTD, 3.Tosoh Corporation)
Keywords:
nano wire,semiconductor laser,multi-quantum shell
コアシェル型GaNナノワイヤを用いた半導体レーザ開発において、リーク電流の発生起源解明が課題である。同一成長条件のウエハからデバイス形状の異なるLEDとLDを作製しI-V特性を評価した結果、LEDでは立ち上がり電圧が確認されたが、LDでは確認されなかった。これよりデバイスの外周長や電極-メサエッジ間の距離といったメサエッジ近傍の複合的因子、および結晶面内均一性がリーク電流へ影響している可能性が示唆された。
