[11p-N101-1~8] 15.4 III-V-group nitride crystals

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[11p-N101-6] Evaluation of Mg Segregation in Bottom Tunnel Junction LEDs Using X-ray Diffraction

〇Shoma Fukakusa¹, Kazuki Osada¹, Rita Higashi¹, Satoshi Yamaguchi¹, Tetsuya Takeuchi¹, Satoshi Kamiyama¹, Motoaki Iwaya¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:

Mg segregation,Bottom tunnel junction (BTJ) LED,X-ray diffraction

下部トンネル接合LEDの課題である量子井戸へのMg偏析に対し、短時間・非破壊なXRDを用いた新規評価法を検討した。p層/量子井戸界面のMg濃度の異なるサンプルを測定した結果、Mg濃度が増加するに従ってサテライトピーク上のフリンジが不明瞭化することを見出した。これは界面平坦性の悪化に起因すると考えられる。本手法は従来の破壊測定（SIMS）に代わる評価手法となり、Mg偏析抑制手法の確立を加速化できる。