講演情報
[11p-N101-6]下部トンネル接合を有するLEDのX線回折を用いたMg偏析評価法の検討
〇深草 翔真1、長田 和樹1、東 莉大1、山口 哲史1、竹内 哲也1、上山 智1、岩谷 素顕1 (1.名城理工)
キーワード：
Mg偏析、下部トンネル接合LED、X線回折
下部トンネル接合LEDの課題である量子井戸へのMg偏析に対し、短時間・非破壊なXRDを用いた新規評価法を検討した。p層/量子井戸界面のMg濃度の異なるサンプルを測定した結果、Mg濃度が増加するに従ってサテライトピーク上のフリンジが不明瞭化することを見出した。これは界面平坦性の悪化に起因すると考えられる。本手法は従来の破壊測定（SIMS）に代わる評価手法となり、Mg偏析抑制手法の確立を加速化できる。