Presentation Information
[11p-N101-7]Analysis of growth evolution of 3D GaN microstructures composed of unstable crystal planes
Yohei Kawamoto1, 〇Yoshinobu Matsuda1, Mitsuru Funato1 (1.Kyoto Univ.)
Keywords:
nitride semiconductor,MOVPE,microstructures
我々は，人為的に形成したマイクロ構造によるフルカラー発光素子のモノリシック集積に取り組んでいる．三次元構造をレジスト形状によって規定することで，安定面だけでなく非安定面も露出させることができる．しかし，このような非安定面から成るマイクロ構造上でのGaN層の成長発展メカニズムは明らかになっていない．そこで本研究では，AlGaNマーカーを用いて曲面型ストライプ構造の成長発展過程を観察したので報告する．