講演情報
[11p-N101-7]非安定面から成る三次元GaNマイクロ構造の成長発展過程の解析
河本 陽平1、〇松田 祥伸1、船戸 充1 (1.京大院工)
キーワード：
窒化物半導体、有機金属気相成長法、マイクロ構造
我々は，人為的に形成したマイクロ構造によるフルカラー発光素子のモノリシック集積に取り組んでいる．三次元構造をレジスト形状によって規定することで，安定面だけでなく非安定面も露出させることができる．しかし，このような非安定面から成るマイクロ構造上でのGaN層の成長発展メカニズムは明らかになっていない．そこで本研究では，AlGaNマーカーを用いて曲面型ストライプ構造の成長発展過程を観察したので報告する．