Presentation Information
[8a-PB4-6]Thermal desorption spectroscopy of IGZO films using the band gap monitoring system
〇Natsumi Aoki1, Kenshi Kimoto1, Kiyoteru Kobayashi1 (1.ESCO)
Keywords:
IGZO,Thermal desorption spectroscopy (TDS)
従来の昇温脱離分析装置においては、試料温度と熱電対の間のオフセットが課題であった。そこで我々は、シリコンのバンドギャップエネルギーの温度依存性に基づいて試料温度を決定する、バンドギャップモニタリングシステムを搭載した昇温脱離分析（TDS）装置の開発を行ってきた。本発表では、本装置を厚さ50 nmのInGaZnO4（IGZO）膜からの脱離ガス分析に適用した結果について報告する。