講演情報
[8a-PB4-6]バンドギャップモニタリングシステムを用いたIGZO薄膜の昇温脱離分析
〇青木 夏美1、木本 健嗣1、小林 清輝1 (1.電子科学（株）)
キーワード：
IGZO、昇温脱離分析 (TDS)
従来の昇温脱離分析装置においては、試料温度と熱電対の間のオフセットが課題であった。そこで我々は、シリコンのバンドギャップエネルギーの温度依存性に基づいて試料温度を決定する、バンドギャップモニタリングシステムを搭載した昇温脱離分析（TDS）装置の開発を行ってきた。本発表では、本装置を厚さ50 nmのInGaZnO4（IGZO）膜からの脱離ガス分析に適用した結果について報告する。