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[8p-A21-17]Characterization of Ru–Re alloy thin films for superconducting circuit applications

〇Koryo Masuzawa1,2, Sikdar Subhrajit1, Kota Furukawa1,2, Takayuki Harada1,2 (1.NIMS, 2.Tokyo Univ. of Science)

Keywords:

superconductor,superconducting circuit

超伝導量子コンピュータの性能向上には量子ビット数の大幅上昇とコヒーレンス時間の延伸が必要となる。
この実現には大規模集積化に向けたプロセス適合性が高く、低損失となる新規超伝導体の開発が要求される。
本研究では、室温成長が可能で酸化被膜の影響が小さいと考えられるRuとReに着目し、これらの材料を用いて合金薄膜の作製と超伝導特性を評価した。