講演情報
[8p-A21-17]超伝導回路応用に向けたRu–Re合金薄膜の作製と超伝導特性評価
〇増沢 向凌1,2、Sikdar Subhrajit1、古川 耕大1,2、原田 尚之1,2 (1.NIMS、2.理科大院先進工)
キーワード：
超伝導体、超伝導回路
超伝導量子コンピュータの性能向上には量子ビット数の大幅上昇とコヒーレンス時間の延伸が必要となる。
この実現には大規模集積化に向けたプロセス適合性が高く、低損失となる新規超伝導体の開発が要求される。
本研究では、室温成長が可能で酸化被膜の影響が小さいと考えられるRuとReに着目し、これらの材料を用いて合金薄膜の作製と超伝導特性を評価した。
この実現には大規模集積化に向けたプロセス適合性が高く、低損失となる新規超伝導体の開発が要求される。
本研究では、室温成長が可能で酸化被膜の影響が小さいと考えられるRuとReに着目し、これらの材料を用いて合金薄膜の作製と超伝導特性を評価した。