Presentation Information
[8p-E301-17]Evaluation of surge current withstand capability and its dependence on surface orientation in vertical β-Ga2O3 SBDs.
〇Masaki Taya1, Yohei Yuda1, Kohei Ebihara1, Ryuji Sakai1, Yoshiki Iba2, Yuma Terauchi2, Yoshinao Kumagai2 (1.Mitsubishi Electric, 2.Tokyo Univ. of Agric. and Tech.)
Keywords:
Gallium Oxide,Ga2O3
異なる基板厚および結晶方位を有するβ-Ga2O3エピタキシャル基板上にSBDを作製・評価し、基板厚および面方位がデバイスのサージ電流耐量に与える影響を検討した。熱伝導率が最も高い[010]方位を放熱方向とすることができる(010)面基板では、薄板化と組み合わせることでサージ電流耐量を効果的に向上させ得ることを示し、デバイス応用に向けた(010)面基板の有用性を実証した。