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1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[8p-E301-6]UV light Sensor with Interdigital Electrodes on NiO of a NiO/Ga₂O₃ Junction

〇Shinji Nakagomi¹, Yota Chiba¹ (1.Ishinomaki Senshu)

Ga2O3,NiO,UV light

NiO/Ga₂O₃ pn ヘテロ接合のNiO上に櫛形電極を形成し、この電極間の電気的特性のUV光照射依存性を評価した。暗時には電流が流れないが、UV 光照射下では、その強度に応じて飽和電流が増加する特性が得られた。バイアス方向に対称な特性を生かして交流駆動下のUV光に対する応答を得た。