[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

13:30 〜 13:45

[8p-E301-6] NiO/β-Ga₂O₃接合のNiO上に櫛形電極をもつ紫外光センサ

〇中込 真二¹、千葉 陽太¹ (1.石巻専修大理工)

キーワード：

酸化ガリウム、酸化ニッケル、紫外光

NiO/Ga₂O₃ pn ヘテロ接合のNiO上に櫛形電極を形成し、この電極間の電気的特性のUV光照射依存性を評価した。暗時には電流が流れないが、UV 光照射下では、その強度に応じて飽和電流が増加する特性が得られた。バイアス方向に対称な特性を生かして交流駆動下のUV光に対する応答を得た。