Presentation Information
[8p-N102-2]Nanoscale Fabrication of High Temperature Superconductors Using Helium Ion Microscopy and Its Application to Quantum Devices
〇Tetsuro Misawa1 (1.AIST)
Keywords:
superconductor,Josephson junction,helium ion microscopy
高温超伝導体ジョセフソン接合の作製におけるHIM技術の幅広い有用性が注目を集めている。我々はHIM技術を用いたYBCOジョセフソン接合技術に取り組んでいる。本発表では、ヘリウムイオンビームの照射量制御による接合特性制御の試みについて報告する。