[8p-N102-1~6] 量子ビームの半導体プロセス・評価技術への応用

14:00 〜 14:30

[8p-N102-2] ヘリウムイオン顕微鏡技術を用いた高温超伝導体のナノ加工と量子デバイスへの応用

〇三澤 哲郎¹ (1.産総研物理計測)

キーワード：

超伝導、ジョセフソン接合、ヘリウムイオン顕微鏡

高温超伝導体ジョセフソン接合の作製におけるHIM技術の幅広い有用性が注目を集めている。我々はHIM技術を用いたYBCOジョセフソン接合技術に取り組んでいる。本発表では、ヘリウムイオンビームの照射量制御による接合特性制御の試みについて報告する。