Presentation Information
[8p-PB3-3]Orientation dependence of ribbon-shaped graphene growth on sapphire substrates by CVD
〇(M2)Yuuki Ohara1, Yuta Fukui1, Takato Oda1, Yoshikazu Kawai1, Hiroki Hibino1 (1.Kwansei Gakuin Univ.)
Keywords:
graphene,CVD,graphene nanoribbon
グラフェンナノリボン(GNR)は、次世代半導体材料として期待されているが、その実用化に向けては、幅やエッジ構造、配列の精密制御が課題である。そこで我々は、化学気相成長(CVD)法を用い、サファイア基板のステップエッジをテンプレートとしてリボン状グラフェンを成長させる研究に取り組んできた。本発表では、高品質なGNRの成長に向けて、サファイアの結晶面方位がCVD法によるリボン状グラフェン成長に及ぼす影響について報告する。