講演情報
[8p-PB3-3]CVD 法によるサファイア基板上リボン状グラフェン成長の面方位依存性
〇(M2)大原 佑希1、福井 優太1、小田 昂到1、川合 良知1、日比野 浩樹1 (1.関学大理工)
キーワード：
グラフェン、化学気相成長、グラフェンナノリボン
グラフェンナノリボン(GNR)は、次世代半導体材料として期待されているが、その実用化に向けては、幅やエッジ構造、配列の精密制御が課題である。そこで我々は、化学気相成長(CVD)法を用い、サファイア基板のステップエッジをテンプレートとしてリボン状グラフェンを成長させる研究に取り組んできた。本発表では、高品質なGNRの成長に向けて、サファイアの結晶面方位がCVD法によるリボン状グラフェン成長に及ぼす影響について報告する。