[8p-PB3-1~46] 17 Nanocarbon and Two-Dimensional Materials (Poster)

[8p-PB3-5] Investigation of SnS nanoscale thin films and SnS/Al₂S₃/Al MIS structures by Electrostatic Spray Deposition (ESD)

〇Misuzu Tanaka¹, Yoshiki Matsubayashi¹, Keisuke Shibata¹, Kanata Tanaka¹, Mutsumi Sugiyama^1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

Keywords:

Tin Sulfide,Electrostatic Spray,sulfurization

本研究では、ESD法で堆積したSnSナノスケール薄膜に硫化処理を行い、SnS/Al₂S₃/Al MIS構造を試作した。またその電気特性について検討した。