Presentation Information
[8p-PB3-8]Synthesis of hexagonal boron nitride multilayer thin films by chemical vapor deposition
〇Shota Tanoue1, Takako Matsunaga1, Hidemi Otsuka1, Aika Uchida2, Hiroki Ago2,3, Kenji Kawahara1 (1.Institute for 2D materials LLC., 2.Kyushu Univ., 3.CSeDE)
Keywords:
hexagonal boron nitride,hBN,chemical vapor deposition
プラットフォーム材料として注目される六方晶窒化ホウ素（hBN）多層薄膜の2028年事業化に向け、化学気相成長法（CVD）による生産技術開発を進めている。本発表では、合成の諸条件の検討を中心に、開発の進捗状況を報告する。