Presentation Information
[9a-B11-9]Three-dimensional visualization of lattice defects in β-Ga2O3 crystals using synchrotron X-ray topo-tomography (Part II)
〇Yongzhao Yao1,2, Daiki Katsube2, Hirotaka Yamaguchi2, Shinya Yamaguchi3, Daiki Wakimoto3, Hironobu Miyamoto3, Yukari Ishikawa2 (1.Mie Univ., 2.JFCC, 3.Novel Crystal Technology)
Keywords:
Ga2O3,X-ray topography,dislocation
結晶成長過程における欠陥低減やデバイス設計時の最適構造設計には、欠陥分布を三次元的（3D）に把握することが不可欠である。しかし、これまで有効な3D可視化技術は十分に確立されていなかった。我々は前回の応用物理学会講演会において、ボルマン効果を利用したX線トポ・トモグラフィーによるβ-Ga2O3結晶中の格子欠陥の3D可視化について報告した。本報告では、同手法を用いたEFG基板およびSBDウエハ中の転位可視化の例に加え、3D再構築に向けた検討結果について報告する。