講演情報
[9a-B11-9]放射光X線トポ・トモグラフィーを用いたβ型Ga2O3結晶中の格子欠陥三次元可視化（その2）
〇姚 永昭1,2、勝部 大樹2、山口 博隆2、山口 慎也3、脇本 大樹3、宮本 広信3、石川 由加里2 (1.三重大、2.JFCC、3.ノベルクリスタルテクノロジー)
キーワード：
酸化ガリウム、X線トポグラフィー、転位
結晶成長過程における欠陥低減やデバイス設計時の最適構造設計には、欠陥分布を三次元的（3D）に把握することが不可欠である。しかし、これまで有効な3D可視化技術は十分に確立されていなかった。我々は前回の応用物理学会講演会において、ボルマン効果を利用したX線トポ・トモグラフィーによるβ-Ga2O3結晶中の格子欠陥の3D可視化について報告した。本報告では、同手法を用いたEFG基板およびSBDウエハ中の転位可視化の例に加え、3D再構築に向けた検討結果について報告する。