[9a-PB2-1~15] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[9a-PB2-1] Fabrication of HEA Thin Films Using Powder Targets I

〇Hiroharu Kawasaki¹ (1.Nat,l Ins. Tech., Sasebo Col.)

Keywords:

Powder target,High Entropy Alloy,Plasma Process

従来研究されてきたHEAは、鋳造や焼結等のような方法で作成された固体多結晶が多く、上述の様な特徴的な効果は限定的であった。HEAを、ナノサイズの薄膜として作製できれば、量子サイズ効果と相まって，新機能発現が期待できる。我々は粉体をターゲットとしてそのまま利用して作製する粉体ターゲット成膜法を開発した。3種類の薄膜を利用して作製した薄膜のXPSによる分析結果から、薄膜には３成分が購入している事が分かった。